等離子清洗設(shè)備不起輝

設(shè)備不起輝主要有兩個(gè)方面：一是真空度不夠，儀器正常工作時(shí)真空度一般在70-100Pa之間。二是主機(jī)設(shè)備出現(xiàn)故障，你可以找一個(gè)短一點(diǎn)的日光燈管代替反應(yīng)艙。將其放入艙體內(nèi)。開(kāi)主機(jī)電源、開(kāi)功率旋鈕，觀察燈管是否有產(chǎn)生輝光。（此時(shí)反應(yīng)艙體應(yīng)該為常壓，即不抽真空）如果燈管沒(méi)有產(chǎn)生輝光，即儀器有問(wèn)題，檢查射頻電源等相關(guān)電子部分（最好請(qǐng)廠家?guī)椭鷻z查）。如果燈管產(chǎn)生輝光即真空部分有問(wèn)題，檢查真空系統(tǒng)（如真空管接口是否松動(dòng)，真空管是否老化漏氣等等）。